基本信息
| 标准名称： | 溅射离子泵 性能测试方法 |
| 中标分类： | 机械 >> 通用机械与设备 >> 真空技术与设备 |
| 替代情况： | JB 2965-81 |
| 发布部门： | 沈阳真空技术研究所 |
| 发布日期： | 1992-01-01 |
| 实施日期： | 1992-01-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 归口单位： | 沈阳真空技术研究所 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 6 页 |
| 批文号： | 机电科标[1992]2135号 |
适用范围
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
前言
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目录
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所属分类： 机械 通用机械与设备 真空技术与设备